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八戸地域研究所 Hachinohe Industrial Research Institute
事業名
平成28年度
公設工業試験研究所の設備拡充補助事業
設置場所
八戸地域研究所
名称 卓上型電子顕微鏡
取得年
平成28年度
メーカ
日立ハイテクノロジーズ(株)
型式
FlexSEM1000
機能 人間の目では約0.1mmまで見えますが、この装置ではミリメートルからナノメートルまでの表面観察ができます。さらに、付属の分析装置により、観察と同時に表面の元素も調べることができます。
装置概要

真空・低真空モードで最高倍率30万倍(モニタ上)が可能な、卓上走査型電子顕微鏡で2次電子像、反射電子像による表面観察及びエネルギー分散型X線分析装置(EDX)による構成元素の分析も行うことができます。また、CCDカメラ画像による観察位置の設定・移動やダイヤルによる倍率変更や、明るさと画質を自動調整する機能を備えた、イージーオペレーションにより操作が容易です。

*利用開始時期は2017/4月を予定しております。しばらくお待ちください。

 主な構成

  仕様

フィラメント:W(タングステン)フィラメント
分解能:4.0nm(二次電子像、加速電圧:20 kV、高真空モード)
5.0nm(反射電子像、加速電圧:20 kV、低真空モード)
加速電圧:0.3 kV~20 kV
倍率:(*通常使用:1万倍程度)
×6~×300,000 (写真倍率)
×16~×800,000 (モニター表示倍率)
低真空設定:6~100Pa
試料サイズ:φ64mm H40mm まで 
試料の制約:試料室が真空(低真空)となるため、試料室を汚染するおそれのある試料は観察をできません。事前にご確認ください。
装置外観
  

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