H15補助物件
平成１５年度補助物件
| 事業名 | 平成15年度 公設工業試験研究所の設備拡充補助事業 |
設置場所 | 工業総合研究所 |
| 名称 | レーザー顕微鏡装置 | 取得年 | 平成15年度 |
| メーカ | （株）キーエンス | 型式 | VK-9500/VK-9510 |
| 機能 | レーザー光源とコンフォーカル（共焦点）光学系により、被写界深度が深く高精細な観察像を得ることができる顕微鏡です。高さ方向に走査することで表面の三次元形状計測も可能です。 | ||
| 装置概要 | レーザー光源波長：バイオレットレーザー408nm レーザー光源出力：クラス2-0.9mW 受光素子：光電子増倍管 水平方向表示分解能：0.01μm 高さ方向表示分解能：0.01μm 観察･分析用ソフトウエア：三次元形状データ作成/三次元形状データのカラー画像マッピング プロファイル計測機能/表面粗さ計測機能/表面積、体積計測機能 |
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| 装置外観 |  |
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