H15補助物件

平成15年度補助物件

事業名 平成15年度
公設工業試験研究所の設備拡充補助事業
設置場所 工業総合研究所
名称 レーザー顕微鏡装置 取得年 平成15年度
メーカ (株)キーエンス 型式 VK-9500/VK-9510
機能 レーザー光源とコンフォーカル(共焦点)光学系により、被写界深度が深く高精細な観察像を得ることができる顕微鏡です。高さ方向に走査することで表面の三次元形状計測も可能です。
装置概要 レーザー光源波長:バイオレットレーザー408nm
レーザー光源出力:クラス2-0.9mW
受光素子:光電子増倍管
水平方向表示分解能:0.01μm
高さ方向表示分解能:0.01μm
観察・分析用ソフトウエア:三次元形状データ作成/三次元形状データのカラー画像マッピング プロファイル計測機能/表面粗さ計測機能/表面積、体積計測機能
装置外観

 

 

 

 


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