H18補助物件

平成18年度補助物件

事業名 平成18年度
公設工業試験研究所の設備拡充補助事業
設置場所 工業総合研究所
名称 蛍光X線分析装置 取得年 平成18年度
メーカ (株)島津製作所 型式 EDX-800HS2
機能 試料にX線を照射することによって発生する蛍光X線のエネルギーと強度を用いてその試料を構成している元素の種類や含有量を、試料を破壊することなく測定し、未知試料の定性定量分析、有機・無機を問わず幅広い分野の材料分析に活用できます。RoHS、ELV等へのスクリーニング分析にも対応しています。
装置概要 測定方法:エネルギー分散型
測定対象:固体、液体、粉体
測定元素範囲:C(炭素)~U(ウラン)
試料雰囲気:大気、真空、ヘリウム
最大試料形状:直径300mm×高さ150mm
試料観察:CCDカメラ付属
試料交換:8試料スピナ付ターレット付属
分析領域:直径1,3,5,10nm
分析項目:定性、定量(検量線法、FP法)、膜厚測定
装置外観

 

 

 

 


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