H28補助物件
| 事業名 |
(公財)JKA：競輪&オートレースの補助事業
RING！RING！プロジェクト
平成28年度
公設工業試験研究所の設備拡充補助事業 |
設置場所
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八戸工業研究所
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| 名称 | 卓上型電子顕微鏡 |
取得年
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平成28年度
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| メーカ |
日立ハイテクノロジーズ(株)
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型式
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FlexSEM1000 |
| 機能 | 人間の目では約0.1mmまで見えますが、この装置ではミリメートルからナノメートルまでの表面観察ができます。さらに、付属の分析装置により、観察と同時に表面の元素も調べることができます。 | ||
| 装置概要 |
真空・低真空モードで最高倍率30万倍(モニタ上)が可能な、卓上走査型電子顕微鏡で2次電子像、反射電子像による表面観察及びエネルギー分散型X線分析装置（EDX）による構成元素の分析も行うことができます。また、CCDカメラ画像による観察位置の設定・移動やダイヤルによる倍率変更や、明るさと画質を自動調整する機能を備えた、イージーオペレーションにより操作が容易です。 （依頼試験にて利用可能です） |
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主な構成 仕様 |
フィラメント：W(タングステン)フィラメント
分解能：4.0nm(二次電子像、加速電圧：20 kV、高真空モード)
5.0nm(反射電子像、加速電圧：20 kV、低真空モード)
加速電圧：0.3 kV～20 kV
倍率:（*通常使用：1万倍程度)
×6～×300,000 (写真倍率)
×16～×800,000 (モニター表示倍率)
低真空設定：6～100Pa
試料サイズ：φ64mm H40mm まで
試料の制約：試料室が真空(低真空)となるため、試料室を汚染するおそれのある試料は観察をできません。事前にご確認ください。
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| 装置外観 |
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