新規導入（更新）機器のご案内 2012/2
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＜機器名称＞
走査型電子顕微鏡一式  ＜概要＞
走査型電子顕微鏡（SEM）は、試料表面を電子線で走査することで、表面の微細構造を高倍率で観察します。さらに、観察中に発生するX線から観察個所の元素を知ることができるため、様々な産業分野における研究開発、品質管理に活用されています。 当研究所のSEMは、高輝度なショットキー電子銃を装備し、試料室を高真空だけではなく低真空状態に保つこともできます。これにより、導電性試料の他、絶縁物試料（セラミックスやプラスチック、含水試料など）を前処理無しで観察、分析することが可能です。 ＜主な仕様＞
走査型電子顕微鏡 (日立ハイテクノロジーズ, SU6600) 1. 二次電子像分解能 1.2 nm (30kV), 3.0nm (1kV) 2. 反射電子像分解能 3.0 nm (30 kV, 10 Pa) 3. 加速電圧 0.5～30 kV 4. 試料ステージ可動範囲 X 0 ～ 110 mm Y 0 ～ 110 mm Z 4 ～ 40 mm 傾斜 －5° ～ ＋70° 回転 360° 最大試料サイズ 150 mm径×40mm(厚さ) 5. 試料室真空度 高真空 <7×10-4 Pa 低真空 10～300Pa（任意に設定可） http://www.hitachi-hitec.com/science/fe_sem/su6600.html エネルギー分散型X線分析装置 (堀場製作所, EMAX EX250 x-act)
1. 検出元素 Be～U 2. 分析機能 定性分析、定量分析、マッピング分析、相分析ほか http://www.horiba.com/jp/scientific/budget/surface/details/ex-250-350-450-574/ 試料前処理装置
1. オスミウムコーター（真空デバイス, HPC-1SW） 2. イオンスパッタ(真空デバイス, MSP-1S) 3. 断面試料作製装置（ライカマイクロシステムズ, EM-TXP） ＜旧機器との違い＞ ※旧装置をご利用の方向け
SEM ・分解能が向上しました。 ・低加速電圧により試料最表面の形状観察が可能になりました。 ・絶縁物（プラスチックなど）を無蒸着で観察し、元素分析できるようになりました（低真空機能）。 ・最大φ150mmの大型試料も取り扱えるようになりました(※ステージ可動範囲は□110mm)。 EDX
・CやB、Oなどの軽元素も検出できるようになりました。 ・分析操作やデータ解析が簡単になりました。 試料前処理装置
・形状が複雑な試料のコーティングが容易になりました（オスミウムコーター）。 ・金属やセラミックの断面試料作製が容易になりました（断面試料作製装置）。 ＜機器利用料金（平成24年7月1日現在）＞ 1時間あたり7,400円 （必要に応じセンター職員が操作をサポートいたします） ※ 初めてお使いになる際は、必ずセンター職員による取扱説明を受けてください。（無料）
※ 機器利用を希望される方は、電話、メール、FAX等で事前に企画経営担当までご相談ください。担当者と日程調整の上、利用可能日時を回答させていただきます。 ★詳細についてはこちら（機器貸出のご案内）もご覧ください。 |